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綠碳化硅生產(chǎn)工藝流程是什么?
綠碳化硅生產(chǎn)工藝流程是什么?
綠碳化硅制造方法同黑色碳化硅,但采用的原材料純度要求較高,也在電阻爐中2200°C左右的高溫下形成,綠色,呈半透明狀,六方晶形,其Sic含量較黑色為高,物理性能與黑色碳化硅相近,但性能略較黑色為脆,也具有較好的導熱性與半導體特性。
綠碳化硅微粉是指在#280到#2500的料,型號越小,粒度相比較較粗,比如說#1200的中值在9.5左右,#1000的中值在11左右,新材料綠碳化硅生產(chǎn)工藝流程如下:
(1)取碳化硅原料,經(jīng)破碎機中碎,并篩分至不大于5mm的碳化硅顆粒,再用整形機對其進行整形至不大于2mm的碳化硅顆粒,且其中橢圓形顆粒占80%以上,再對其進行酸洗除雜,干燥;
(2)將上述干燥后的碳化硅顆粒用磨粉機粉碎成d50=9.5-11.5μm的碳化硅粉,粉碎時,磨粉機主機電流設定為65-75A,風機流量設定為40-50m3/min,分析機轉(zhuǎn)速為400--600轉(zhuǎn)/分;
(3) 然后用渦流式氣流分級機對碳化硅粉進行分級,分級時,渦流式氣流分級機的風7a64e4b893e5b19e31333337613866機流量為25-43m3/min,分級輪轉(zhuǎn)速為2600--3300轉(zhuǎn)/分,從分級口分出粒度ds94=6.5-5.5μm的成品A,旋風口分出ds94≤5.5μm的半成品。